| 发明名称 | 电容式相对湿度传感器 | ||
| 摘要 | 本发明是一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器，由衬底，氧化层、电容电极组成，氧化层设在衬底上，电容电极设在氧化层上方，在电容电极上设有电极引线，该电容电极为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极，在电容电极上设有钝化层。本发明采用铝电极梳状并联结构可以增加敏感电容值，将衬底可靠接地消除了外界的干扰，提高湿度传感器的精度。淀积钝化层能够有效防止环境中的水汽尤其是聚酰亚胺吸水后，聚酰亚胺中的水汽腐蚀铝电极，提高可靠性。利用梳状并联多晶硅作为加热电路，使湿度传感器的脱附时间更短，同样提高了可靠性。利用聚酰亚胺作为感湿介质，灵敏度高，线性度、滞回特性好，长期可靠等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN1203312C | 申请公布日期 | 2005.05.25 |
| 申请号 | CN03131858.4 | 申请日期 | 2003.06.12 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 顾磊;黄庆安;秦明;张中平 |
| 分类号 | G01N27/22 | 主分类号 | G01N27/22 |
| 代理机构 | 南京经纬专利商标代理有限公司 | 代理人 | 王之梓 |
| 主权项 | 1、一种用于湿度信号传感的电容式相对湿度传感器，由衬底(106)，氧化层(104)、电容电极(101和102)组成，氧化层(104)设在衬底(106)上，电容电极(101和102)设在氧化层(104)上方，在电容电极(101和102)上设有电极引线(1011和1021)，该电容电极(101和102)为其材质适于标准CMOS加工工艺的电极，其特征在于在电容电极(101和102)上设有钝化层(108)，在电容电极(101和102)之间及其上方设有感湿介质层(107)，钝化层(108)位于电容电极(101和102)与感湿介质层(107)之间，在电容电极(101和102)与氧化层(104)之间设有二氧化硅条(105)且二氧化硅条(105)的上表面高于感湿介质层(107)的下表面(1071)，在钝化层(108)与氧化层(104)之间设有加热条(103)，在加热条(103)上设有加热条引线(1031和1032)，加热条(103)为多晶硅加热条。 | ||
| 地址 | 210096江苏省南京市四牌楼2号 | ||