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发明名称 Verfahren zur Entfernung von Metallen und Siliziumoxid während des Gasphasenätzens vom Opferoxid
摘要
申请公布号 DE60102775(T2) 申请公布日期 2005.05.12
申请号 DE2001602775T 申请日期 2001.10.24
申请人 AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC. 发明人 ROBERTSON, III;BECK, SCOTT EDWARD
分类号 B81B7/02;B81C1/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L29/84;(IPC1-7):B81C1/00 主分类号 B81B7/02
代理机构 代理人
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