| 主权项 |
1.一种扫描式探针检验装置,用以从连接在一起的复数个被动元件中侦测出其中一个异常的被动元件,而该复数个被动元件系以链状结构互相连接,且该链状结构之连接部系间断地从晶片的表面暴露出来,该扫描式探针检验装置包含:一偏压供应器,对该链状结构的两端施以一偏压;两探针,两者彼此隔开,而隔开距离系由该链状结构之暴露到晶片表面的两段之连接部的间隔所决定;一侦测器,用以侦测两探针之间的的电位差;及一扫描部,用以使该两探针扫掠过形成有该晶片之晶圆的整个表面,同时使该两探针的间隔保持不变。2.如申请专利范围第1项之扫描式探针检验装置,其中该复数个被动元件系以固定的间隔排列,且该两探针之隔开距离等于或大于两相邻之被动元件之固定间隔的两倍。3.如申请专利范围第1项之扫描式探针检验装置,其中该复数个被动元件皆为贯通孔,且其中两相邻之贯通孔之间呈下述之连接方式,即一上互连线系从一贯通孔之上端连接至与其相邻之一贯通孔的上端、一下互连线系从该贯通孔之下端连接至与其相邻之另一贯通孔的下端,藉以构成具有该上互连线、该两相邻之贯通孔与该下互连线的该链状结构,并且使复数个链状结构串接在一起,且其中该探针系接触各上互连线。4.如申请专利范围第1项之扫描式探针检验装置,其中该探针之主体呈薄板状,且形成有从该主体延伸出来的悬臂部,而该悬臂部之末端则形成有一针状部,其中该主体、该悬臂部与该针状部系由半导体材料与金属材料之其中一个所制成。5.如申请专利范围第4项之扫描式探针检验装置,其中该针状部相对于该悬臂部之末端系呈倾斜。6.如申请专利范围第4项之扫描式探针检验装置,其中在矽的表面上涂布导电材料而形成该探针。7.如申请专利范围第6项之扫描式探针检验装置,其中该导电材料为掺硼的钻石材料。图式简单说明:图1为本发明之一实施例的扫描式探针检验装置之示意图。图2显示探针之结构。图3显示探针之驱动方法。图4显示探针之驱动方法的另一实施例。图5为习知扫描式探针检验装置的示意图。 |
