| 主权项 |
1、一种平面磁控溅射-多工位镀膜装置，它包括：M(M为自然数)个平面磁控溅射靶(14)、N(N为自然数)工件夹(15)、加热器(28)、充气孔(29)、真空镀膜室(30)、真空抽气组(32)，其特征是它还包括：转盘(16)、连接杆(17)、小齿轮(18)、小齿轮(19)、连接杆(20)、自转电机(21)、公转电机(22)、连接杆(23)、中齿轮(24)、连接杆(25)、大齿轮(26)、连接杆(27)；M个平面磁控溅射靶(14)位于真空镀膜室底部(31)；加热器(28)位于真空镀膜室底部(31)；充气孔(29)位于真空镀膜室底部(31)上；真空镀膜室底部(31)有真空抽气组(32)；转盘(16)用连接杆(27)与外部电机(22)连接；N个工件夹(15)均匀分布在转盘(16)的下面，通过连杆(17)穿过转盘(16)与齿轮(18)连接在一起，齿轮(18)安装在转盘(16)上面；小齿轮(19)通过连接杆(20)与真空镀膜室(30)外部电机(21)连接在一起；中齿轮(24)通过连接杆(23)固定在真空镀膜室(30)中，中齿轮(24)与小齿轮(19)咬合；大齿轮(26)通过连接杆(25)与中齿轮(24)固定在一起。 |
