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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Ausbildung einer dünnen Schicht
摘要
申请公布号 DE19837516(B4) 申请公布日期 2005.03.24
申请号 DE19981037516 申请日期 1998.08.19
申请人 SANYO VACUUM INDUSTRIES CO.,LTD. 发明人 KITABATAKE, AKIHIRO;YAMADA, KEIJI
分类号 C23C14/22;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/35;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/22;H01J37/32 主分类号 C23C14/22
代理机构 代理人
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