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发明名称 CANTILEVER ARRAY FOR SCANNING PROBE AND FABRICATION METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR100477366(B1) 申请公布日期 2005.03.22
申请号 KR20020058884 申请日期 2002.09.27
申请人 发明人
分类号 G01Q10/04;(IPC1-7):G01N13/10 主分类号 G01Q10/04
代理机构 代理人
主权项
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