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发明名称
SPUTTERING CATHODE ADAPTER
摘要
申请公布号
EP1511876(A2)
申请公布日期
2005.03.09
申请号
EP20030736612
申请日期
2003.05.14
申请人
TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人
LAWSON, JOHN;IRWIN, DALE;CHERVENAK, SETVE;MCINTEE, JOHN
分类号
C23C14/34;H01J37/34;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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