沈积室中供诱捕粒子之捕捉器

摘要

本发明包括沈积装置，其具有反应室及沿室内之一或多个表面形成之粒子捕捉形体。在特定方面，粒子捕捉形体可包括形成容器之弯曲凸出物之图案，及可包括弯曲凸出物上之微结构。本发明也包括藉由先形成凸出物之图案、将凸出物弯曲、及然后使凸出物曝露在粒子下以在弯曲凸出物上形成微结构而形成粒子捕捉形体之方法。