| 摘要 |
一种运输系统，其能够安全地运输一厚度小于100微米之工作件，并容易地定位该工作件，该运输系统设置一板状元件，其以可移动与可转动的方式加以设置、以及一移动及转动构件，其移动与转动该板状元件；该板状元件系与一举升构件一起设置，用以均匀地整个举起在承载位置承载之一工作件、以及一固持构件，用以藉着将其整体夹持在该板状元件之一工作件夹持表面上，以固持藉由该举升构件所举起的工作件、以及复数个维纳尔式喷嘴，其作为该举升构件、与复数个真空夹持喷嘴，其作为该固持构件，该等喷嘴系形成于接近该板状元件之一外部周围的工作件夹持表面中，并沿着该外部周围。 |
