发明名称 具有多晶硅薄膜晶体管的液晶显示器及其制造方法
摘要 用于液晶(LCD)显示器的阵列基板的制造方法,包括:在具有显示区和包围显示区的非显示区的基板上形成对准键;对准键上形成非晶硅层;用对准键作基准,结晶非晶硅层的预定部分;用对准键作基准,对非晶硅层进行构图,形成多晶硅层,其中,多晶硅层用非晶硅层的预定部分形成;在半导体层上形成栅绝缘层;用对准键作基准,在栅绝缘层上形成栅极;在栅极上形成隔层绝缘层和在隔层绝缘层上形成源极和漏极。
申请公布号 CN1577011A 申请公布日期 2005.02.09
申请号 CN200410046199.8 申请日期 2004.06.02
申请人 LG.菲利浦LCD株式会社 发明人 徐铉植;金荣柱;金商铉
分类号 G02F1/136;H01L21/00 主分类号 G02F1/136
代理机构 北京律诚同业知识产权代理有限公司 代理人 徐金国;祁建国
主权项 1、一种液晶显示器的阵列基板的制造方法,包括:在具有显示区和非显示区的基板上形成对准键,其中,非显示区包围显示区;在对准键上形成非晶硅层;用对准键作基准,结晶非晶硅层的预定部分;用对准键作基准,对非晶硅层进行构图,形成多晶硅层,其中,多晶硅层用非晶硅层的预定部分形成;在多晶硅层上形成栅绝缘层;用对准键作基准,在栅绝缘层上形成栅极;在栅极上形成隔层绝缘层;和在隔层绝缘层上形成源极和漏极。
地址 韩国汉城
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