| 摘要 |
本发明提供一种包括一脉冲DC电源供应器的磁电管喷溅系统，该脉冲DC电源供应器能够传输0.1百万瓦至数百万瓦的尖峰功率，尖峰功率密度大于1kW／cm^2。不需要先采用电弧放电状态便可于高度离子化状态中产生一喷溅电浆。该电源供应器具有一脉冲电路，其包括一能量储存电容器以及串联的电感器，该脉冲电路具有一切换构件，用以于侦测到电弧情况时中断该脉冲电路与该电浆的连接，并且让该电感器能量再循环回流至该能量储存电容器。该能量储存电容器以及该串联的电感器能够提供与该电浆匹配的阻抗，用以于发生电弧时限制电流上升速率以及尖峰强度，并且调整被送往该电浆的电压脉冲。 |
