电容式半导体压力传感器

摘要

一种电容式半导体压力传感器(capacitivesemiconductor pressure sensor)。该压力传感器主要包含有一由金属固定电极与一可动的多晶硅隔膜(diaphragm)所构成的平板电容(plate capacitor)，设置于一非单晶硅基底上；以及一薄膜晶体管(TFT)控制电路，电连接于该平板电容，用来控制该压力传感器的操作。

主权项

1.一种电容式半导体压力传感器(capacitive semiconductor pressuresensor)，其包含有：一非单晶硅基底；一可导电可动的多晶硅隔膜(conductive movable polysilicondiaphragm)；一多晶硅支承构件(supporter)，设于该非单晶硅基底上，用来固定该多晶硅隔膜的两端，使得该多晶硅隔膜与该非单晶硅基底之间形成一密闭凹穴(sealed cavity)；一固定电极(stationary electrolde)，设于该多晶硅隔膜下方的该非单晶硅基底上，该固定电极与该多晶硅隔膜构成一平板电容(plate capacitor)；以及一薄膜晶体管(thin film transistor，TFT)控制电路，设于该非单晶硅基底上，并电连接于该平板电容。