| 发明名称 |
METHOD FOR THE PRODUCTION OF THIN METAL-CONTAINING LAYERS HAVING LOW ELECTRICAL RESISTANCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1497859(A2) |
申请公布日期 |
2005.01.19 |
| 申请号 |
EP20030722271 |
申请日期 |
2003.04.10 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
BARTH, HANS-JOACHIM;TEWS, HELMUT |
| 分类号 |
C25D5/50;C25D7/12;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
C25D5/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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