| 发明名称 |
INRICHTING VOOR HET MET LICHT EN DOOR EEN REKEN- TUIG GESTUURD TEKENEN VAN MASKERS VOOR HALFGELEI- DER-BOUWELEMENTEN. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7510189(A) |
申请公布日期 |
1976.03.02 |
| 申请号 |
NL19750010189 |
申请日期 |
1975.08.28 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT TE BERLIJN EN MUENCHEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
|
| 分类号 |
H01L21/027;G02B5/32;G03F1/00;G03F1/08;G03F7/20;G03H1/00;(IPC1-7):H01L21/70;G03H1/02;H01L21/46;H01L21/30 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
