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发明名称 Ceramic heater
摘要
申请公布号 EP1440957(A3) 申请公布日期 2005.01.05
申请号 EP20040001123 申请日期 2000.04.04
申请人 IBIDEN CO., LTD. 发明人 HIRAMATSU YASUJI;ITO YASUTAKA
分类号 C04B35/581;C04B35/593;C04B35/597;C04B35/634;C04B35/645;G01R1/073;G01R3/00;H01L21/683;(IPC1-7):C04B35/581;H05B3/28;H05B3/26;H05B3/14 主分类号 C04B35/581
代理机构 代理人
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