发明名称 Menetelmä vaihemaskien nollannen diffraktiokertaluvun hyötysuhteen pienentämiseksi
摘要
申请公布号 FI114828(B) 申请公布日期 2004.12.31
申请号 FI20000000795 申请日期 2000.04.05
申请人 NANOCOMP OY, 发明人 KUITTINEN,MARKKU
分类号 G02B;G02B5/18;G02B27/42;(IPC1-7):G02B5/18 主分类号 G02B
代理机构 代理人
主权项
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