| 摘要 |
本发明之课题在于提供过滤性良好，没有涂布缺陷、显影缺陷且经时安定性极佳的一种微细图案形成助剂，使用于该助剂之原料聚合物及其制法。本发明解决问题之技术手段系藉由离子交换处理，将乙缩醛化聚乙烯醇(PVA)等之水溶性改质PVA予以脱金属离子、去氧之后，进行80℃以上之加热处理。藉此，减低改质PVA中之具有重量平均分子量25万以上之高分子量体成分量。将含有加热处理后之改质PVA与交联剂之微细图案形成助剂，涂布于光阻图案3上而形成被覆层4之后，藉由加热光阻图案3与被覆层4，酸从光阻图案3扩散至被覆层。藉由扩散之酸，使光阻图案表面附近之被覆层交联与硬化。藉由将被读层4予以显影，于光阻图案表面具有交联．硬化层 5，且形成具有曝光波长解析度界限以下尺寸之无显影缺陷的孔洞图案。 |
