增强化学性型之正型光阻组成物

摘要

提供可形成微细光阻图案，且可将该光阻图案之锥形形状角度控制于适度角度，并且可形成焦点深度宽优良之光阻图案的正型光阻组成物。此正型光阻组成物为由增强化学性型的正型光阻组成物所形成，且厚度0.3μm之光阻膜于波长248nm的光线穿透率为20～75％。