| 发明名称 |
METHOD FOR NEUTRALIZING ELECTRIC CHARGES BUILT UP ON A SPECIMEN IN A VACUUM CHAMBER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0469314(A3) |
申请公布日期 |
1992.06.03 |
| 申请号 |
EP19910110939 |
申请日期 |
1991.07.01 |
| 申请人 |
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
KOLBENSCHLAG, NIKOLAUS |
| 分类号 |
H01J37/20;G01Q30/02;G01Q30/12;G01Q30/16;H01J37/02;H05F3/04;(IPC1-7):H01J37/02 |
主分类号 |
H01J37/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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