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发明名称 Method and apparatus for local temperature sensing for use in performing high resolution in-situ measurement
摘要
申请公布号 EP0733909(B1) 申请公布日期 2004.11.17
申请号 EP19960200817 申请日期 1996.03.25
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICRO ELEKTRONICA CENTRUM VZW;LIMBURGS UNIVERSITAIR CENTRUM 发明人 DE CEUNINCK, WARD;ROGGEN, JEAN;STALS, LAMBERT;DE SCHEPPER, LUC
分类号 G01R31/01;G01R31/26;G01R31/28;(IPC1-7):G01R31/00;G01R19/32 主分类号 G01R31/01
代理机构 代理人
主权项
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