发明名称 Technique to obtain high mobility channels in MOS transistors by forming a strain layer on an underside of a channel
摘要
申请公布号 US6815310(B2) 申请公布日期 2004.11.09
申请号 US20030366771 申请日期 2003.02.14
申请人 INTEL CORP 发明人 ROBERDS BRIAN;DOYLE BRIAN S
分类号 H01L21/336;H01L21/337;H01L29/10;H01L29/80;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
地址