工件表面粗糙度测量方法及装置

摘要

一种工件表面粗糙度测量方法，它是采用显微镜对待测工件表面放大，由电机驱动工作台移动得到一系列显微轮廓图像，经电荷耦合器采集显微图像并将其转换为视频图像信号，再通过图像捕捉模块进行数据采集后由计算机对其信号进行分析处理并显示和保存被测工件表面显微轮廓及表面粗糙度参数、曲线。其测量装置包括工作台和驱动电机，工作台上方设有显微镜，通过电荷耦合器、图像捕捉模块与计算机相接，电机通过电机驱动模块与计算机相接。本发明将显微镜、电荷耦合器、计算机有机结合在一起，采用非接触式测量，零件表面无划伤，结构简单，功能完善，同时拓展了光切显微镜与干涉显微镜的应用空间，便于不同场所选用，其性价比大大优于同类测量设备。

主权项

1、一种工件表面粗糙度测量方法，其特征在于它是采用显微镜对待测工件表面进行放大，由电机驱动工作台移动，得到一系列显微轮廓图像，经电荷耦合器采集显微图像并将其转换为视频图像信号，再通过图像捕捉模块进行数据采集后由计算机对其信号进行分析处理并显示和保存被测工件表面显微轮廓及表面粗糙度参数、曲线。