| 发明名称 | 静电吸盘之制造方法 | ||
| 摘要 | 一种静电吸盘之制造方法，其系形成一第一介电层于一盘本体之静电吸附面，利用金属蒸汽真空弧离子植入技术将低阻抗离子植入该第一介电层，使得该第一介电层之电阻值均匀降低至10些 | ||
| 申请公布号 | TW200419693 | 申请公布日期 | 2004.10.01 |
| 申请号 | TW092106477 | 申请日期 | 2003.03.20 |
| 申请人 | 庆康科技股份有限公司 | 发明人 | 张世丰;林庭正;陈志壕 |
| 分类号 | H01L21/68 | 主分类号 | H01L21/68 |
| 代理机构 | 代理人 | 张启威 | |
| 主权项 | |||
| 地址 | 新竹市新竹科学工业园区工业东四路五号一楼 | ||