蚀刻液管理方法和蚀刻液管理装置

摘要

本发明的课题在于容易使反复使用的金属性材料用蚀刻液中的伴随时间而变化的成分浓度基本保持一定。本发明的蚀刻液管理方法采用与金属性材料用的蚀刻液呈相反性的溶液，对该饰刻液进行滴定，与此同时测定该蚀刻液的导电度。采用已获得的测定值，计算蚀刻液中的不足成分量。采用成分原液和/或补充液，将已计算出的不足成分量补充到蚀刻液中。

主权项

1.一种蚀刻液管理方法，该蚀刻液管理方法用于使反复使用的金属性材料用蚀刻液的成分浓度基本保持一定，其特征在于该方法包括：滴定、测定工序：采用与上述蚀刻液呈相反性的溶液，对上述蚀刻液进行滴定，与此同时，测定上述蚀刻液的导电度；运算工序：采用通过上述滴定、测定工序获得的测定值，计算上述蚀刻液中的不足成分量；补充工序：采用成分原液和/或补充液，将通过上述运算工序计算出的上述不足成分量补充给上述蚀刻液。