发明名称 藉组合经施加应力结构而制造复合构造之方法
摘要 一种制造复合结构之方法,其中该两基本微电子结构(1、3)系于个别连接表面(3)被组合在一起,其特征在于组合前,该欲组合之两表面间系产生一切应力状态差,此差值系被选择以在该组合结构内,于相关于组合条件之给定条件下获得一预先决定之应力状态。
申请公布号 TW200418102 申请公布日期 2004.09.16
申请号 TW092133665 申请日期 2003.12.01
申请人 原子能委员会 发明人 法兰克福内尔;修伯特莫里西欧;菲利普蒙特梅欧
分类号 H01L21/304;H01L21/20 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 法国