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发明名称
藉组合经施加应力结构而制造复合构造之方法
摘要
一种制造复合结构之方法,其中该两基本微电子结构(1、3)系于个别连接表面(3)被组合在一起,其特征在于组合前,该欲组合之两表面间系产生一切应力状态差,此差值系被选择以在该组合结构内,于相关于组合条件之给定条件下获得一预先决定之应力状态。
申请公布号
TW200418102
申请公布日期
2004.09.16
申请号
TW092133665
申请日期
2003.12.01
申请人
原子能委员会
发明人
法兰克福内尔;修伯特莫里西欧;菲利普蒙特梅欧
分类号
H01L21/304;H01L21/20
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
赖经臣;宿希成
主权项
地址
法国
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