发明名称 Sensor fremstilt i en silisium-pa-isolator struktur og som har redusert strompaslagsdrift
摘要
申请公布号 NO20043014(A) 申请公布日期 2004.09.02
申请号 NO20040003014 申请日期 2004.07.15
申请人 HONEYWELL INTERNATIONAL INC 发明人 JOHNSON RUSSELL L
分类号 G01D3/028;G01D5/18;G01L9/00;G01L9/06;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/06 主分类号 G01D3/028
代理机构 代理人
主权项
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