光罩,光罩之制造方法及光罩之制造装置

摘要

本发明提供一种光罩，系在HT遮罩的配线图案(1)之白缺陷中心部分，形成有穿透率为0至2％范围内的遮光区域(11)。此外，在邻接遮光区域(11)的区域，且从当有缺陷时的假想图案边缘内侧区域起至其边缘外侧的区域，形成穿透率10至25％范围内的半透明区域(12)。藉此，可获得一种在HT遮罩之缺陷修正中，能增加缺陷修正部分之加工精密度容许限度的光罩。