| 发明名称 |
SPOT GRID ARRAY IMAGING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1446657(A2) |
申请公布日期 |
2004.08.18 |
| 申请号 |
EP20020789470 |
申请日期 |
2002.11.07 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
ALMOGY, GILAD;RECHES, OREN |
| 分类号 |
G01N23/227;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/00;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/95 |
主分类号 |
G01N23/227 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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