| 主权项 |
1.一种应用光学干涉计之科氏力型流量计,其包含 有: 一基板,具有一激振电极,可提供一静电力,且该激 振电极两侧分别具有一穿孔; 一对称之回路导管,架设于该基板之上,后端为可 供流体进出之出入口,前端设于该基板之激振电极 上,藉由该激振电极提供之静电力驱使该回路导管 挠曲振动,该回路导管前端更具有对应于该穿孔的 复数个贯孔,且该贯孔系位于对称之位置; 复数个反射镜面,分别设置于该基板之该穿孔以及 该回路导管之该贯孔内; 复数个光源,设置于该回路导管之该贯孔上方;及 复数个光探测器,设置于该基板之该穿孔下方; 其中该光探测器可撷取该光源依序通过该穿孔以 及该贯孔内之该反射镜面干涉后的光学讯号,经过 计算可得流经该对称之回路导管的流量大小。 2.如申请专利范围第1项所述之应用光学干涉计之 科氏力型流量计,更包含有复数个激振电极,且该 激振电极系以该回路导管的中心线呈对称分布。 3.如申请专利范围第1项所述之应用光学干涉计之 科氏力型流量计,其中该回路导管系采用微机电制 程中之体型加工乾式蚀刻技术化学蚀刻法制作。 4.如申请专利范围第1项所述之应用光学干涉计之 科氏力型流量计,其中该回路导管系为矩形之回路 导管。 5.如申请专利范围第1项所述之应用光学干涉计之 科氏力型流量计,其中该回路导管之贯孔内的该反 射镜面具有特定之反射率。 6.如申请专利范围第1项所述之应用光学干涉计之 科氏力型流量计,其中设置于该穿孔以及该贯孔内 之该反射镜面间的距离即为光学干涉计之共振腔 长度。 7.如申请专利范围第1项所述之应用光学干涉计之 科氏力型流量计,其中该反射镜面系采用微机电制 程中之光学镀膜技术制作。 图式简单说明: 第1图为本发明所设计之矩形对称的回路导管10; 第2图为回路导管10前端在静止状态时及激振状态 时之剖面图; 第3图为本发明所揭露的应用光学干涉计之科氏力 型流量计第一实施例的架构示意图; 第4图为回路导管前端之剖面图;及 第5图为本发明所揭露的应用光学干涉计之科氏力 型流量计第二实施例的架构示意图。 |
