含预定张力的膜的转换器的制造方法

摘要

含预定张力膜(11)的转换器的制造方法。在转换器基本结构制成后，调整膜片使之具有预定张力，此张力最好较低，以便获得较高的灵敏度。公开了两个实施方案。一种方法包括加热转换器，使之高于固定膜片的材料(12，14)的玻璃转化温度。另一种包括测量膜片的实际张力，可用于计算膜片厚度的调整量以达到要求的张力。

主权项

1.一种显微机加工转换器的制造方法，该显微机加工转换器具有基片和膜片，该膜片相对于基片在平衡位置附近可动，该方法包括以下步骤：提供基片，提供膜片，在膜片和基片之间放置具有玻璃转化温度的物质，将该物质加热到至少等于所述玻璃转化温度的温度，将该物质冷却到低于该玻璃转化温度的温度，和调节该膜片的厚度以获得预定的张力。