发明名称 METHOD FOR INSPECTING AN INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 EP0866980(B1) 申请公布日期 2004.08.04
申请号 EP19970935721 申请日期 1997.09.03
申请人 KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. 发明人 VAN LAMMEREN, JOHANNES, PETRUS, MARIA;ZWEMSTRA, TACO
分类号 G01R31/26;G01R31/28;G01R31/30;G01R31/316;G01R31/317;(IPC1-7):G01R31/316 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址