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发明名称
流体搅拌系统及方法
摘要
一种流体搅拌系统及方法,该流体搅拌系统主要包含流体供应装置、储存槽、第一喷流板、第二喷流板及控制器。流体供应装置提供流体至储存槽,控制器操控储存槽内的第一喷流板及第二喷流板,以相反方向分别喷射环绕流体形成停滞平面。并且利用控制器调控进入第一喷流板及第二喷流板之流体,使该停滞平面在第一喷流板及第二喷流板之间移动,以形成均质容积,达到均匀搅拌储存槽中溶液的目的。
申请公布号
TW200413087
申请公布日期
2004.08.01
申请号
TW092101178
申请日期
2003.01.20
申请人
台湾积体电路制造股份有限公司
发明人
张瑞鸿;胡天行;应志霖;谢宗其;陈世雄;施圣洋
分类号
B01F5/02;H01L21/027
主分类号
B01F5/02
代理机构
代理人
蔡坤财
主权项
地址
新竹市新竹科学工业园区园区三路一二一号
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