发明名称 流体搅拌系统及方法
摘要 一种流体搅拌系统及方法,该流体搅拌系统主要包含流体供应装置、储存槽、第一喷流板、第二喷流板及控制器。流体供应装置提供流体至储存槽,控制器操控储存槽内的第一喷流板及第二喷流板,以相反方向分别喷射环绕流体形成停滞平面。并且利用控制器调控进入第一喷流板及第二喷流板之流体,使该停滞平面在第一喷流板及第二喷流板之间移动,以形成均质容积,达到均匀搅拌储存槽中溶液的目的。
申请公布号 TW200413087 申请公布日期 2004.08.01
申请号 TW092101178 申请日期 2003.01.20
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 张瑞鸿;胡天行;应志霖;谢宗其;陈世雄;施圣洋
分类号 B01F5/02;H01L21/027 主分类号 B01F5/02
代理机构 代理人 蔡坤财
主权项
地址 新竹市新竹科学工业园区园区三路一二一号