| 发明名称 | 研磨垫整理器 | ||
| 摘要 | 一种研磨垫整理器，包括一底层、一部分相稳定化金属氧化层与钻石颗粒，其配置方式在底层上配置一层部分相稳定化金属氧化层，而在部分相稳定化金属氧化层中分布有钻石颗粒。由于部分相稳定化金属氧化层具有抗酸腐蚀以及相韧变化的特性，故可延长研磨垫整理器的寿命，并且避免钻石颗粒脱落。 | ||
| 申请公布号 | CN1516245A | 申请公布日期 | 2004.07.28 |
| 申请号 | CN03100238.2 | 申请日期 | 2003.01.06 |
| 申请人 | 旺宏电子股份有限公司 | 发明人 | 洪永泰;黄啟东 |
| 分类号 | H01L21/304;B24B37/00 | 主分类号 | H01L21/304 |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王学强 |
| 主权项 | 1、一种研磨垫整理器，其特征在于：包括：一底层；一部分相稳定化金属氧化层，位于该底层上；以及复数个钻石颗粒，镶嵌于该部分相稳定化金属氧化层上。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹科学工业园区力行路16号 | ||