发明名称 KAPAZITIVER DRUCKWANDLER MIT VERBESSERTEM ELEKTRODENSITZ
摘要
申请公布号 DE60006126(T2) 申请公布日期 2004.07.22
申请号 DE20006006126T 申请日期 2000.07.14
申请人 MKS INSTRUMENTS INC., ANDOVER 发明人 LISCHER, JEFFREY;BLANKENSHIP, D.
分类号 G01L13/06;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/12;G01L19/04 主分类号 G01L13/06
代理机构 代理人
主权项
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