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发明名称
KAPAZITIVER DRUCKWANDLER MIT VERBESSERTEM ELEKTRODENSITZ
摘要
申请公布号
DE60006126(T2)
申请公布日期
2004.07.22
申请号
DE20006006126T
申请日期
2000.07.14
申请人
MKS INSTRUMENTS INC., ANDOVER
发明人
LISCHER, JEFFREY;BLANKENSHIP, D.
分类号
G01L13/06;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/12;G01L19/04
主分类号
G01L13/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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