改进的光致抗蚀剂

摘要

一种光致抗蚀剂，其包括一种亲水化合物，当对光化辐射曝光时，该亲水化合物产生一种自由基聚合引发剂，该亲水化合物可以被用作光致抗蚀剂中的粘合剂聚合物或交联剂。

主权项

1.光致抗蚀剂，其包括亲水化合物，该亲水化合物产生构成该化合物主要部分的自由基。