| 摘要 |
<P>Le composant comporte des micro-systèmes électromécaniques (2) intégrés dans une cavité d'un substrat (1) et un capot (3) scellé sur le substrat (1) et destiné à rendre la cavité étanche. Le capot (3) comporte au moins une rainure (5) traversant le capot (3) et délimitant dans le capot (3) une zone centrale recouvrant totalement la cavité et une zone périphérique. Un matériau de scellement (4) est disposé au moins au fond de la rainure (5). La réalisation du composant peut comporter une première étape, de creusement dans le capot (3) d'au moins une rainure (5), une seconde étape, de mise en contact du substrat (1) et du capot (3) et une troisième étape, de scellement par dépôt d'un matériau de scellement au fond de la rainure (5).</P>
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