显影废液再生装置以及显影废液再生方法

摘要

显影再生系统(1)具备贮藏含有TMAH等之TAAH和光阻剂之显影废液之贮藏槽(2)、在废液贮藏槽2经由配管(3、6)所连接且具有NF膜之第1分离手段(5)、在第1分离手段(5)经由配管7所连接之贮藏槽(8)和在贮藏槽(8)经由配管(9、12)所连接且具有NF膜之第2分离手段(11)。又，显影再生系统经由连接于贮藏槽(2)之配管(13)连接于显影装置(100)，更且，经由连接于贮藏槽(8)之配管(15)连接于显影管理供给装置(101)。