| 发明名称 |
Organic anti-reflective coating polymer and preparation thereof |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2357509(B) |
申请公布日期 |
2004.04.14 |
| 申请号 |
GB20000031418 |
申请日期 |
2000.12.22 |
| 申请人 |
* HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO., LTD. |
发明人 |
SUNG-EUN * HONG;MIN-HO * JUNG;JAE-CHANG * JUNG;GEUN-SU * LEE;KI-HO * BAIK |
| 分类号 |
G03F7/11;C08F2/14;C08F4/32;C08F8/00;C08F8/02;C08F16/34;C08F220/30;C08K5/00;C08L33/04;C09D5/00;C09D129/00;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):C08F116/38;G03F7/09 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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