水浴激光消融和激光加工的方法

摘要

一种水浴激光消融和激光加工方法，将需要激光消融和激光加工的样品置于盛有水的容器中，然后放置于激光辐照的范围内进行激光消融或激光加工处理。样品放置于水浴中阻断了其暴露于空气环境中的不利情况，水浴不但降低样品表面的温度，抑制激光消融飞溅物的产生和再沉积，改善样品表面的光洁度和加工精度；而且对激光等离子体所产生的冲击波起到反向增强的作用，对表面施以压应力，可以改善样品表面的应力分布，从而提高其机械性能。本发明方法适用于耐水的样品，比如硅片、玻璃等非金属，并且适用于可在水中传播的激光波段，蓝绿激光被水吸收很小是很好的光源。

主权项

1、一种水浴激光消融和激光加工的方法，其特征是将需要消融的样品置于盛有水的容器中，然后对需要激光消融和激光加工的部位进行激光辐照。