资料记录媒体及其制造方法

摘要

一种资料记录媒体，其具有极佳的讯号跳动(jitter)特性及记录前后之反射率显着不同。该资料记录媒体包括一记录层，其含有反射率因一光束的照射作用而异之一材料，及于其上依反射率变化而记录资料；及包括用于支撑该记录层之一基板；该记录层包括一种金属氮化物作为主要组份。在制造一资料记录媒体之一种方法中，该记录媒体具有所包括的一材料之反射率因一光束的照射作用而异之一记录层，及于其上依反射率变化而记录资料，及具有用于支撑该记录层之基板，该记录层包括一种金属氮化物作为主要组份；该方法包括藉由一反应性溅镀方法形成该记录层之一个记录层形成步骤，该反应性溅镀方法使用由构成该金属氮化物的一金属所组成之一靶材，其中在该记录层形成步骤中之包括氩与氮气的气体环境中之氩：氮气的流量比系设定于80：10至10：80之范围内。