光学单元、曝光设备和器件制造法

摘要

在光学单元镜筒中整体布置一个环形支撑件，并且三个突起部分分布在支撑件的上表面上。突起部分以直接接触的方式支撑平行平片的下表面。在此支撑态下，平行平片与支撑件的一个表面相对，其间有几微米的间隙。通过这种配置，平行平片一侧中的空间基本上与另一侧的空间隔开。因此，例如即使平行平片一侧空间中的气体环境不同于另一侧，也可以有效地避免气体混合。另外，因为平行平片在三点处被支撑，所以由于平行平片的支撑力而抑制平行平片的变形，由此抑制折射率变化。

主权项

1.一种在镜筒内具有光束光路的光学单元，光学单元包括：透射所述光束的片状透射性光学元件；和连接到所述镜筒的第一支撑件，所述第一支撑件具有：一个与所述透射性光学元件的表面上所述光路的外围部分相对的第一相对表面，和至少三个分布在所述相对表面上的第一突起部分，通过至少在三点处支撑所述透射性光学元件而使得在透射性光学元件的所述表面和所述第一相对表面之间形成预定的第一间隙。