| 发明名称 |
MOLECULAR LAYER DEPOSITION OF THIN FILMS WITH MIXED COMPONENTS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2003267995(A1) |
申请公布日期 |
2004.02.09 |
| 申请号 |
AU20030267995 |
申请日期 |
2003.07.16 |
| 申请人 |
ASML US, INC. |
发明人 |
YOSHIHIDE SENZAKI;SANG-IN LEE |
| 分类号 |
C23C16/455;C23C16/30;C23C16/34;C23C16/40;C23C16/44;H01L21/283;H01L21/285;H01L21/314;H01L21/316;H01L21/318;H01L29/78 |
主分类号 |
C23C16/455 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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