短脉冲激光超声精确测厚方法及装置

摘要

本发明公开了一种短脉冲激光超声精确测厚方法及装置，测厚方法是利用超快的短脉冲激光束在待测样品前表面激发声波，声波传到后表面时，引起样品后表面发生形变，另一束从样品后表面反射的探测光会由于这次形变而发生第一次偏转；声脉冲到达后表面后又从后表面向前表面反射，再从前表面反射回后表面，完成一个反射周期，这时探测光就会探测到时间上有一定延迟的第二次偏转；两次偏转的时间差乘以声波在样品中的传播速度，再除以二就是样品的厚度。实现测厚方法的测厚装置由光源、分光系统、聚焦系统和接收系统组成。用本发明的方法和装置可以对非常薄的单层样品的厚度，以及厚度的差值进行测量。

主权项

1.短脉冲激光超声精确测厚方法，其特征是利用超快的短脉冲激光束在待测样品前表面激发声波，声波传到样品后表面时，引起样品后表面发生形变，另一束从样品后表面反射的探测光会由于这次形变而发生第一次角度偏转；声脉冲到达后表面后又从后表面向前表面反射，再从前表面反射回后表面，完成一个反射周期，这时探测光就会探测到时间上有一定延迟的第二次角度偏转；两次角度偏转的时间差乘以声波在样品中的传播速度，再除以二就是样品的厚度。