| 主权项 |
1.一种光照射装置,具备:一介电质势垒放电灯;该介电质势垒放电灯是藉由介电质势垒放电来产生准分子光;及一灯室;该灯室是供以收容介电质势垒放电灯,且形成有供以取出准分子光的窗构件;并且,在上述灯室内置换惰性气体的状态下作动;其特征为:在上述灯室内设有惰性气体喷出机构;上述惰性气体喷出机构可使从该惰性气体喷出机构喷出的惰性气体直接吹向上述窗构件。2.如申请专利范围第1项之光照射装置,其中上述惰性气体喷出机构具有其内部流动惰性气体的惰性气体流动部;上述惰性气体流动部是沿着上述窗构件的外周缘而配置,且于窗构件的方向形成有惰性气体喷出孔;从上述惰性气体喷出孔喷出的惰性气体可直接吹向上述窗构件。3.如申请专利范围第1项之光照射装置,其中上述灯室内设有光反射板;该反射板是供以使从上述介电质势垒放电灯所产生的准分子光反射于上述窗构件的方向;上述惰性气体喷出机构具有其内部流动惰性气体的惰性气体流动部;上述惰性气体流动部是位于离开窗构件的位置,并位于与上述光反射板的介电质势垒放电灯呈相反的一侧,且于窗构件的方向形成有惰性气体喷出孔;从上述惰性气体喷出孔喷出的惰性气体会通过形成于上述光反射板的通气孔,而使能够直接吹向于窗构件。4.如申请专利范围第1项之光照射装置,其中在上述灯室内,在上述介电质势垒放电灯与上述窗构件之间,配置有使准介子光透过的隔板;上述惰性气体喷出机构具有其内部流动惰性气体的惰性气体流动部;上述惰性气体流动部会延伸至隔板与窗构件之间,且于该惰性气体流动部的端部形成有供以喷出惰性气体的开口;从上述开口喷出的惰性气体可直接吹向上述隔板与上述窗构件之间。图式简单说明:第1图是表示本发明之光照射装置之一例的构成说明用剖面图。第2图是表示介电质势垒放电灯的说明用剖面图。第3图是表示第1图之光照射装置的惰性气体喷出机构的立体图。第4图是表示本发明之光照射装置的其他例的剖面图。第5图是供以说明第4图之光照射装置的惰性气体喷出机构的立体图。第6图是供以说明本发明之光照射装置的其他例的剖面图。第7图是表示本发明之光照射装置与习知之光照射装置的窗构件温度的实验资料说明图。 |
