发明名称 POSITIVE PHOTOSENSITIVE RESIN COMPOSITION, PROCESS FOR ITS PREPARATION, AND SEMICONDUCTOR DEVICES
摘要
申请公布号 KR20040004422(A) 申请公布日期 2004.01.13
申请号 KR20037005975 申请日期 2003.04.29
申请人 发明人
分类号 G03F7/023;C08G69/26;C08G69/40;C08G69/42;G03F7/004;G03F7/022;G03F7/037;H01L21/027;H01L21/312 主分类号 G03F7/023
代理机构 代理人
主权项
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