| 发明名称 | 表面处理方法及膜图案的形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供为了改善由喷墨法完成的膜图案的形成，而能得到均匀具有所需亲液性的基板的表面处理方法、以及依据该表面处理得到的表面处理基板及膜图案的形成方法等。本发明中，在基板表面上进行形成由有机分子构成的自我组织化膜的疏液化处理。之后用紫外光照射等方法缓和疏液性，而达到所需的疏液性。 | ||
| 申请公布号 | CN1459824A | 申请公布日期 | 2003.12.03 |
| 申请号 | CN03108289.0 | 申请日期 | 2003.03.27 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 平井利充;长谷井宏宣 |
| 分类号 | H01L21/00 | 主分类号 | H01L21/00 |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人 | 李香兰 |
| 主权项 | 1.一种表面处理方法，其特征在于，在基板的表面进行疏液化处理后，再实施亲液化处理。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||