清洗装置

摘要

一种清洗装置，包括有清洗槽、排放管线、回收管线及清洗单元等。清洗槽具有凹形底部，而排放管线及回收管线与清洗槽之凹形底部互相耦接，清洗单元则配置于清洗槽中。以清洗槽内清洗溶液之污染物浓度曲线变化来划分清洗时间区段，对污染物浓度较高与较低的清洗溶液加以区分。污染物浓度较高之清洗溶液由排放管线传输至废液槽收集，而污染物浓度较低的清洗溶液则经回收管线由回收系统回收、过滤及净化之后，再经由管线导引至清洗装置中重覆使用。伍、(一)、本案代表图为：第3图(二)、本案代表图之元件代表符号简单说明：300：清洗装置302：清洗槽304：清洗单元306：排放管线308：回收管线310：基板312：使用后之清洗溶液302a：凹形底部

主权项

1.一种清洗装置,用以清洗一基板,其中包括:一清洗槽,用以置放该基板,并容纳清洗该基板之一清洗溶液,该清洗槽具有一凹形底部,该凹形底部与水平方向之间呈一夹角,其中该夹角约为6度;一清洗单元,配置于该清洗槽中,用以将该清洗溶液传输至该清洗槽,对该基板进行清洗;一排放管线,与该凹形底部相耦接,用以排放该清洗槽中之该清洗溶液;以及一回收管线,与该凹形底部相耦接,用以回收该清洗槽中之该清洗溶液。2.如申请专利范围第1项所述之清洗装置,其中该清洗槽之截面为矩形。3.如申请专利范围第2项所述之清洗装置,其中该凹形底部包括角锥形底部。4.如申请专利范围第1项所述之清洗装置,其中该清洗槽之截面为圆形。5.如申请专利范围第4项所述之清洗装置,其中该凹形底部包括圆锥形底部。图式简单说明:第1图所绘示为一种习知清洗装置的结构示意图;第2图所绘示为使用第1图中的习知清洗装置进行清洗步骤时,清洗溶液中污染物浓度对时间的变化图;第3图所绘示为依照本发明之较佳实施例,一种清洗装置,其结构之示意图;以及第4图所绘示为使用本发明之清洗装置进行清洗步骤时,清洗溶液中污染物浓度对时间的变化图。