首页 产品 黄页 商标 征信
会员服务 注册 登录 
全部
 |
企业名
 |
法人/股东/高管
 |
品牌/产品
 |
地址
 |
经营范围
发明名称 Verfahren und Gerät zum Bilden eines Beschichtungsfilms
摘要
申请公布号 DE69725648(D1) 申请公布日期 2003.11.27
申请号 DE19976025648 申请日期 1997.05.24
申请人 TOKYO ELECTRON LTD., TOKIO/TOKYO 发明人 SHIRAISHI, MASATOSHI;KIBA, YUKIO;OGATA, KUNIE
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
地址
您可能感兴趣的专利
©  2024 传众  czvv.com