| 发明名称 |
Substrate exposure with uniformized polarized radiation |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2388440(A) |
申请公布日期 |
2003.11.12 |
| 申请号 |
GB20030005753 |
申请日期 |
2003.03.13 |
| 申请人 |
* EASTMAN KODAK COMPANY |
发明人 |
RONGGUANG * LIANG;DAVID * KESSLER |
| 分类号 |
G02B27/28;G02F1/1337;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/20;G02F1/133 |
主分类号 |
G02B27/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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