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发明名称 Gaszuführungsstruktur und -verfahren, Laseroszillator, Belichtungsvorrichtung, und Verfahren zur Herstellung einer Einrichtung
摘要
申请公布号 DE69911715(D1) 申请公布日期 2003.11.06
申请号 DE19996011715 申请日期 1999.10.28
申请人 TADAHIRO OHMI, SENDAI;CANON K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 OHMI, TADAHIRO;OSAWA, HIROSHI;INO, KAZUHIDE;SHIRAI, YASUYUKI;TANAKA, NOBUYOSHI;SHINOHARA, TOSHIKUNI;HIRAYAMA, MASAKI
分类号 H01S5/30;H01S3/036;(IPC1-7):B23K26/00 主分类号 H01S5/30
代理机构 代理人
主权项
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